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ARTICLES详细介绍
压电·单维扫描运动 Sxxx.Z.C
➡ 紧凑型单轴Z轴方向运动，电容位置闭环控制
• Z 方向运动范围 100-300 um；
• 外形尺寸，40 mm x 40 mm x 18 mm；
• 闭环定位精度优于1 nm (开环版本可选)；
• 最大负载 500 g；
• 支持无磁 (.NM) 和高真空 (.UHV) 选件升级；
压电升降扫描台，Z轴扫描运动——详细参数：
压电升降扫描台，Z轴扫描运动——尺寸图：
多场科技“压电扫描台·紧凑型"解决方案主要包含：
S —— 扫描标准系列；
SD —— 高动态系列；
SH —— 高负载系列。
S, SD & SH 系列覆盖X轴单维度运动、Z轴单维度运动、XY轴双维度运动和XYZ轴三维度运动等应用场景，支持电容闭环传感，可选无磁/高真空/超高真空选件升级。
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